為了使器件獲得高真空，所采用的油擴散泵，固然能保證高的抽速，但它卻存在著許多嚴重不足之處：有各種碳氫化合物，及其熱裂產物，嚴重污染真空空間。當碳氫化合物存在于電真空器件中時，它們常使器件工作時，極不穩定，因而降低了器件的壽命與可靠性。在發生氣體放電的空間，由于與氣體離子或電子碰撞，而被聚合成碳氫化合物的物質，會凝聚在器件壁上。當有帶電質點碰上器件壁，或者在某些工作器件中，受到不斷產生的弱x射線輻照，將會形成像一氧化碳、二氧化碳及氫等這樣的一些氣體。有時會在管子的零件上，因氫還原一氧化碳而形成水蒸汽，因此降低了器件的質量。