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鈦及鈦合金行業(yè)

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姚力軍:填補(bǔ)中國超高純金屬及濺射靶材的空白

   2015-01-23 IP屬地 陜西32530
  超高純金屬材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的必需原材料,也是被日美大型企業(yè)嚴(yán)重壟斷,造成我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)依賴性的關(guān)鍵材料。有人曾戲言,當(dāng)年我國的半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)除了水和空氣來自中國,其余所有的設(shè)備、材料和工藝都來自國外。
  國家需要半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,它是國家安全和所有信息產(chǎn)業(yè)進(jìn)步的基礎(chǔ)。如今,在國家“千人計(jì)劃”專家,江豐電子創(chuàng)始人姚力軍的帶領(lǐng)下,2014年江豐電子實(shí)現(xiàn)了低氧超高純的批量生產(chǎn),打破了美國、日本等跨國企業(yè)對我國的封鎖,使我國成為了世界上第三個能夠生產(chǎn)低氧超高純鈦的國家。建設(shè)完成了23000平方米的高純鈦生產(chǎn)基地,自主設(shè)計(jì)并制造了低氧超高純鈦熔煉電解設(shè)備,完成了多槍冷床電子束熔鑄設(shè)備的安裝,開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的低氧超高純鈦提煉、熔鑄及分析檢測等核心技術(shù)。
  在科技創(chuàng)新方面,姚力軍帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)取得了一系列突破。
  成功完成國家02重大專項(xiàng)(300mm硅片工藝用Al、Ti、Ta靶材制造技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化)項(xiàng)目驗(yàn)收,研發(fā)的產(chǎn)品成功取代國外進(jìn)口,在國內(nèi)中芯國際為代表的半導(dǎo)體企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,市場占有率超過50%。承擔(dān)的國家重大專項(xiàng)(300mm硅片45-28納米配線用超高純系列濺射靶材)項(xiàng)目得到重大進(jìn)展,Ta靶材、Cu靶材成功通過臺積電等世界一流半導(dǎo)體企業(yè)評價(jià),江豐系列產(chǎn)品在以臺積電為代表的世界一流半導(dǎo)體企業(yè)的最先端工藝得到批量應(yīng)用,所生產(chǎn)的產(chǎn)品直接用于iphone6、奧迪、豐田等高端終端產(chǎn)品。
  填補(bǔ)我國在液晶平板顯示(LCD)材料產(chǎn)業(yè)中的空白,開發(fā)的超高純鋁濺射靶材取得重大突破,結(jié)束了我國長期依賴從日本進(jìn)口相關(guān)材料的歷史。江豐電子所生產(chǎn)的G6代和G8.5代超高純鋁靶材分別成功通過京東方(合肥廠)及華星光電(深圳廠)的評價(jià),在客戶端生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)應(yīng)用,江豐電子成為中國第一個能夠生產(chǎn)高世代平板顯示工業(yè)用超高純靶材的企業(yè),為我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出重大貢獻(xiàn)。
  自主知識產(chǎn)權(quán)建設(shè)取得重大突破。2014年度姚力軍作為第一專利發(fā)明人獲得授權(quán)專利27項(xiàng)(其中發(fā)明專利21項(xiàng)),申請發(fā)明專利59項(xiàng)(其中發(fā)明專利54項(xiàng))。獲得中國有色金屬行業(yè)科技進(jìn)步一等獎,寧波市科技進(jìn)步一等獎。
 
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