TiCl4精制工序的“三廢”主要有：釜殘液、低沸點出液、精餾塔廢氣和呼吸器排出的氣體等。這些排出物必進行適當處理，回收其中的有價成分，最終使排出物達至I放標準。（鈦棒）按理這種釜殘液最好的方法，是將釜殘液返回養爐或收塵系統。低沸點物餾出液可返回氯化爐，其中SiCl4會在爐中被氧化為Si02。如果不返回氯化爐，則需用常壓精餾或減壓精餾的方法，將SiCl4與TiCl4分離。瑣有分離提純SiCl4的技術和專利。分離出來的SiCl4可用可造有機硅產品。精制生產所產生的廢氣與生產系統產生免氣，都通過淋洗塔使用堿液或石灰乳液循環淋洗處理后過排空。在精制生產過程中產生的廢水，一般含有HClFeCl3等成分。這些廢水不僅含有固體顆粒雜質，而且呈性，這種廢水常用石灰石中和處理。

　　海綿鈦后續處理會產生粉塵。車間內部的建筑結構JU 設備必須進行周期性的濕法清洗（每年兩次），以除去美 面上附著的海綿鈦粉塵。