鈦靶材通過高純度的鈦材料加工制成。有著光澤的銀白色外觀，其熔點為1660℃，沸點為3287℃，密度為4.5g/cm3。鈦靶材具有高純度、高密度、高強度和耐腐蝕等特點。高性能鈦濺射靶材,是實現(xiàn)電子信息制造業(yè)關(guān)鍵材料的自主研制和推動鈦工業(yè)向高端轉(zhuǎn)型升級的重要舉措。
鈦靶材特征
鈦靶材形狀：平面靶旋轉(zhuǎn)靶異型定制
鈦靶材純度：2N7,4N,4N5,5N
鈦靶材尺寸：按圖紙加工或其他者定制
鈦靶材制備工藝
選取鈦原料（4N或者5N），采用真空熔煉的方法將鈦原料熔融，并將熔湯澆鑄，澆鑄后的熔湯冷卻形成鑄錠坯料；
將鑄錠坯料進行第一熱處理，第一熱處理的溫度為450～650℃，保溫時間0.5～2.5h，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮蔫T錠坯料進行熱軋延或者空氣錘鍛打，形成第一鈦坯；
對第一鈦坯進行第二熱處理，第二熱處理的溫度為350～550℃，保溫時間為1～3h，然后將保溫?zé)崽幚砗蟮牡谝烩伵鬟M行熱軋延或者空氣錘鍛打，形成第二鈦坯；
對第二鈦坯冷卻到室溫后，在室溫的環(huán)境下對第二鈦坯進行冷軋延，形成冷軋坯；
將冷軋所形成的冷軋坯做退火熱處理，退火熱處理溫度為300～700℃，時間為1～5h，得到晶粒細小且均勻的鈦靶坯，之后通過機床加工即得鈦靶材。
該制備方法通過多次熱處理，使得鈦坯中的元素產(chǎn)生固態(tài)擴散，來減輕化學(xué)成分分布的不均勻性，減少靶材坯料的分層現(xiàn)象，縮小晶粒尺寸；同時可消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減低硬度和脆性，增加其可塑性，減少變形與裂紋傾向。下圖是鈦濺射靶材典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。
鈦靶材應(yīng)用
鈦靶材是一種重要的材料，主要用于制造半導(dǎo)體、光電子和磁性材料等高科技領(lǐng)域的材料。在半導(dǎo)體工業(yè)中，鈦靶材可用于制造電子元件的制造，例如光電二極管、光電品體管、光電接收器和發(fā)射器等。在光電子領(lǐng)域，鈦靶材可用于制造光電子器件，例如LED和太陽能電池等。在磁性材料領(lǐng)域，鈦靶材可用于制造硬盤和磁卡等。
除了以上應(yīng)用，鈦靶材還廣泛用于高溫合金、導(dǎo)電材料、化學(xué)催化劑和醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域，這些領(lǐng)域不僅需要高強度、耐腐蝕的材料，還需要穩(wěn)定的化學(xué)性能和生物相容性。鈦靶材正好滿足這些要求，成為這些領(lǐng)域的重要材料之一。
鈦的其它應(yīng)用
鈦在軍工方面的應(yīng)用
鈦在軍事工業(yè)方面有著十分廣闊的用途。核動力潛艇、水翼艇、迫擊炮身管、反坦克導(dǎo)彈、導(dǎo)彈發(fā)射器、坦克防護板、防彈背心等大量用鈦。
鈦在航天航空方面的應(yīng)用
鈦廣泛用于航空工業(yè)，民用飛機用鈦量約占構(gòu)架重量的20～25%;此外戰(zhàn)略火箭發(fā)動機、宇宙飛船(如神舟五號、神舟六號)、人造衛(wèi)星天線等也大量用鈦。
鈦在海洋產(chǎn)業(yè)方面的應(yīng)用
在海水中，鈦具有其他金屬材料無法比擬的耐蝕性能，特別是耐受海水的高速沖刷腐蝕。
在汽車工業(yè)方面的應(yīng)用
鈦的輕質(zhì)、高強度等性能早已被汽車制造商所關(guān)注，鈦在賽車上的應(yīng)用已有許多年的歷史，目前賽車幾乎都使用了鈦材。
在醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用
隨著醫(yī)療技術(shù)的提高，在人體內(nèi)植入金屬是十分常見的外科手術(shù)，由于鈦金屬具有與人體組織排異反應(yīng)弱，目前被廣泛于人工骨骼、人工關(guān)節(jié)、人造牙等人體植入物方面得到廣泛的應(yīng)用。此外，鈦在制藥機械、醫(yī)療器械方面的應(yīng)用也得到進一步的認識，未來需求不可低估。
在核工業(yè)方面的應(yīng)用
除上述用途外，鈦是發(fā)展核工業(yè)不可缺少的重要材料，核反應(yīng)堆使用的很多設(shè)備、管道和相關(guān)部件，除使用鋯、鉿外，還需要大量的鈦和鈦基合金材料。。
鈦靶材合金類型
除鈦靶材外，我們還可以提供鈦鋁合金、鈦鈮合金、銅鈦合金、鎢鈦合金、鎳鈦合金、釩鈦合金、鉬鈦合金等濺射靶材。
